SHOWA 昭和 被动式 防震隔离 设备NPC系列 NPC-200D / NPC-400D
・固有振动数：约4.0～6.0Hz・高减衰：共振倍率约3倍・高耐久性・付过浮上防止机构・付自动水平调整器・付减衰机构・依据机台规格、可制作客制品・半导体检查装置、液晶检查装置・LaserRepair装置、Inspection装置・SEM、TEM、超精密加工机、光学装置型 式NPC-200DNPC-400DNPC-800DNPC-1200DNPC-1600DNPC-3200D寸法(A×B×H)mm
・固有振动数：约4.0～6.0Hz
・高减衰：共振倍率约3倍
・高耐久性
・付过浮上防止机构
・付自动水平调整器
・付减衰机构
・依据机台规格、可制作客制品
・半导体检查装置、液晶检查装置
・LaserRepair装置、Inspection装置
・SEM、TEM、超精密加工机、光学装置
| 型 式 | NPC-200D | NPC-400D | NPC-800D | NPC-1200D | NPC-1600D | NPC-3200D |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 (A×B×H)mm | 240×300×127 | 280×330×127 | 360×400×127 | 400×460×127 | 430×500×127 | 480×630×127 |
| 固定寸法 (C×D)mm | 210×270 | 250×300 | 310×350 | 360×420 | 390×460 | 440×590 |
| 质 量 (kg/个) | 20kg | 30kg | 40kg | 60kg | 80kg | 140kg |
| 搭载可能重量 (kg/个) | 150kg | 300kg | 600kg | 800kg | 1,200kg | 2,500kg |
| 水平方法 | 使用水平调整器来维持水平 | |||||
| 供给空气源(MPa) | 0.35～0.44 | |||||
| 附属品 | 气压调节阀(1个)、φ6塑胶管(10m)、T型连结管(2个) | |||||
・本表记载的规格、会有无预告变更外观的情形。