日本渠道 magnescale 索尼 磁栅尺 BS78 温度膨胀系数
2024-12-16 11:51:44
admin
磁栅尺
BS78
特点
在保持高速和高分辨率的同时实现稳定和超精确的测量。最适合精密工作台、半导体检查/制造设备、超精密加工机等。
信号波长为 138 nm 的高分辨率标尺,超过光波干涉仪
高稳定性,不受湿度、压力和空气湍流的影响
原点精度:±0.1μm
精度:±0.04μm以下(有效长度40mm)
完全非接触,原则上不会出现退货错误
有效长度:40~420mm、9种(-R/-RS)
有效长度:10~420mm,10种(-N/-NS)
真空、非磁性兼容(特殊规格)
使用低膨胀玻璃:-0.7×10 -6 /℃(有效长度:10~420mm)
分辨率:2.1pm
规格
型号名称 | BS78 | |
有效长度:L(毫米) | 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420(10 仅适用于 N/NS) | |
秤总长 | 58mm(有效长度10mm:悬臂式)有效长度+26mm(有效长度40~420mm) | |
最大可动长度 | 有效长度+2mm(有效长度10mm:悬臂式) 有效长度+10mm(有效长度40~420mm) | |
准确度(20℃时) |
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晶格间距 | 约0.55μm | |
信号波长 | 约0.138μm(约138nm) | |
原点精度 | ±0.1μm(仅限R/RS型) | |
原点位置 | 距中心及中心左右各50mm(仅限320、370、420mm有效长度,以50mm间隔距中心偏移20mm) | |
原点检测方向 | 单向 | |
温度膨胀系数 | -0.7×10 -6 /℃ | |
光源 | 半导体激光器波长790nm 输出6mW | |
辐射功率 | DHHS 1 级 | |
检测方法 | 衍射光栅扫描型 | |
工作温度范围 | 10℃~30℃(无凝露) | |
储存温度范围 | -10°C 至 50°C(湿度 60% 或更低) | |
最大响应速度 | 400毫米/秒 |
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